Foco na indústria de gases especiais

Os gases eletrônicos incluem gases eletrônicos especiais e gases eletrônicos a granel.São materiais indispensáveis ​​e fundamentais no processo de fabricação de circuitos integrados, painéis de exibição, iluminação semicondutora, energia fotovoltaica e outras indústrias.Gases especiais eletrônicos são materiais de suporte necessários para a fabricação de circuitos integrados.Eles são amplamente utilizados em fotolitografia, gravação, formação de filme, limpeza, dopagem, deposição e outras ligações de processos.Eles têm altos requisitos de pureza, estabilidade, embalagem, etc., conhecidos como “alimento” e “sangue” da indústria de semicondutores.A fabricação de circuitos integrados envolve milhares de processos extremamente complexos e exigem o uso de centenas de gases especiais eletrônicos.Na fabricação de circuitos integrados, os gases eletrônicos podem ser divididos em gases de dopagem, gases de implantação iônica, gases de limpeza, gases de gravação e gases de fotolitografia de acordo com diferentes processos;gases eletrônicos são amplamente utilizados e possuem elevados requisitos técnicos.As fontes e seus sistemas de abastecimento possuem requisitos exigentes.A pureza do gás é o parâmetro central dos produtos de gases especiais, que requerem ultrapuros e ultralimpos.Ultrapure requer pureza do gás para atingir 4,5N, 5N ou mesmo 6N ou 7N.Cada vez que a pureza aumenta em um N e cada vez que a concentração de partículas e impurezas metálicas diminui em uma ordem de grandeza, a pureza do gás aumentará em uma ordem de grandeza.Trazendo melhorias significativas na complexidade e dificuldade dos processos.Para gases mistos, a precisão da proporção é o parâmetro principal.À medida que os componentes do produto aumentam e a precisão da preparação aumenta, os fornecedores de gás são frequentemente obrigados a realizar operações precisas em componentes de gás com uma variedade de concentrações de níveis de ppm ou mesmo ppb.